请教下， CU制程的芯片做FIB需要提供GDS吗？具体原因是什么？
如果样品失效表征很明显很明确直接切就行吧，和制程无关。如果失效没有表征只是想研究某个位置，没有明确的识别标记时就需要GDS参考了。

发布于2022-05-06

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