请教群里大神，FT发现批量性OS超标，开盖发现都是固定Pad位置ESD保护管烧伤，一般会是什么原因造成？
这种插指结构是典型的ESD clamp结构。这种电测后ESD电路damage的现象并不少见，但最终能找到root cause较少，主要是因为high current damage destroyed损坏了证据。FA尽量的找一些烧得比较轻微的FIB/top down delayer，如果运气好的话也许能找到蛛丝马迹。但我觉得也许可以同时做一些数据分析/DOE/ESD测试也许更有帮助。可以搞几颗Die...

发布于2022-05-16

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F从哪里来呢，产生机理是什么？
虽然后道etch会有polymer residue，wet clean有的工厂也会用HF的chemical来洗，关键是etch过程中会导致pad表层大概5nm左右的氧化铝会有不同层度的damage，然后会有吸附含f的化合物或络合物或离子。

发布于2022-05-06

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