F从哪里来呢,产生机理是什么?

一季樱花失效分析 2022-05-06 22:07:30 758阅读 重庆市 电信
F从哪里来呢,产生机理是什么?

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3条回答

  • 痞子三分冷
    2022-05-06 22:07:47 已采纳
    虽然后道etch会有polymer residue,wet clean有的工厂也会用HF的chemical来洗,关键是etch过程中会导致pad表层大概5nm左右的氧化铝会有不同层度的damage,然后会有吸附含f的化合物或络合物或离子。
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  • 过分迷人
    2022-05-06 22:08:26
    1.优化pad开窗的etch recipe。2.优化wet strip的工艺。3.包装,存储条件严格监控。
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  • 梦开始的地方
    2022-05-06 22:08:16
    请问如上情况怎么改善?
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