如果单元非常一致,散热非常好均匀、热平衡好,第一种情况发生,早期的平面工艺有时候就会看到这种损坏模式。现在新的工艺导致单元的密度越来越集中,产生的损坏通常用就是第二种。体内寄生三极管导通产生雪崩损坏,同时伴随着体内寄生三极管发生二次击穿,此时集电极电压在瞬态时间几个n秒内,减少到耐压的1/2,原因在于内部耗尽层载流子发生雪崩注入,电场电流密度很大,接近硅片临界电场。电流大,电压高,电场大,电离强,...

发布于2022-05-17

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个人感觉只能作为参考,两者的波形不同,内部电路的寄生情况可能会降低参考价值吧。

发布于2022-05-16

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你们是什么产品?可能是wafer process(HDP等)会有少许charging,通过照射UV relax掉了,照完就变得稳定了。有的产品在FABprocess完成之后WAT之前会专门有道UV,目的就是relaxing charging之类。

发布于2022-05-06

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