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夏颜 ╮
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下图是晶圆排布，左面ABCD区域Y方向芯片之间space是70um，E区域变成60um，在X方向切割时，可以一刀划到底吗，光学对位会不会存在问题？ABCD四种芯片高度都是985，E高度995um
全部按照60um切割道切就可以了。
发布于2022-05-07
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