下图是晶圆排布,左面ABCD区域Y方向芯片之间space是70um,E区域变成60um,在X方向切割时,可以一刀划到底吗,光学对位会不会存在问题?ABCD四种芯片高度都是985,E高度995um

自在笑谈往事可靠性分析 2022-05-07 09:06:56 419阅读 陕西省咸阳市 陕西广电

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1条回答

  • 夏颜 ╮
    2022-05-07 09:07:33 已采纳
    全部按照60um切割道切就可以了。
    0 举报
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