已解决 下图是晶圆排布，左面ABCD区域Y方向芯片之间space是70um，E区域变成60um，在X方向切割时，可以一刀划到底吗，光学对位会不会存在问题？ABCD四种芯片高度都是985，E高度995um
2022-05-07 09:06:56 462人查看 1人回复 举报