对比分析PT与NPT的结构

悠悠子半导体器件原理 2023-04-25 15:59:17 408阅读 举报

随着智能网联汽车、新能源、智慧照明、智慧交通等行业的快速发展,新型功能器件的节能功效越来越受重视,尤以IGBT为代表的快充技术更被视作未来十年的发展趋势。特别是中美贸易摩擦时期,中国国内IGBT厂商将面临前所未有的机遇。

1.PT-IGBT

所谓PT(Punch Through,穿通型),是指电场穿透了N-漂移区(图1中③),电子与空穴的主要汇合点在N一区[图1(c)]。

NPT在实验室实现的时间(1982 年)要早于PT(1985),但技术上的原因使得PT规模商用化的时间比NPT早,所以第1代IGBT产品以PT型为主。

RF,射频,IGBT

PT-IGBT很好地解决了IGBT的闩锁问题,但是需要增加外延层厚度,技术复杂,成本也高。IGBT芯片中的外延层与电压规格是直接相关的,电压规格越高、外延层越厚,IZOOV、2000V的PT-IGBT外延层厚度分别达到了100μm和200μm。

2.NPT-IGBT

所谓NPT(Non-Punch Through,非穿通),是指电场没有穿透N-漂移区,构如图3所示。NPT的基本技术原理是取消N十缓冲区(图1中的④),直接在集电区(图1中的⑤)注入空间电荷形成高阻区,电子与空穴的主要汇合点换成了P十集电区。这项技术又被称为离子注入法、离子掺杂工艺。

3.PT-IGBT与NPT-IGBT生产工艺与技术性的区别

PT与NPT型IGBT是目前的主流产品类型,600V 电压规格的IGBT基本上是PT型,600v以下则全是PT型。二者在生产工艺与技术性能上的差别参见表 1。

项目PT-IGBT芯片NPT-IGBT芯片

生产工艺与芯片结构原料f单晶硅)低电阻率的P+单晶硅(生成P+背发射区)高电阻率的N-单晶硅(生成N-漂移区)

外延工艺需要不需要MOS结构在外延层中在单晶硅中芯片减薄工艺基本不需要(为了保证电压规格)需要(有利于提高性能)

离子注入工艺不需要(P+背发射区已经生成)需要(生成P+背发射区)

高能离子辐照工艺需要(中子、电子等)(目的是提高开关速度)不需要成本100%约75&技术指标与性能饱和压降低,负温度系数高,正温度系数

开关功耗低高

关断功耗高,收温度的影响大低,受温度的影响小关断时间长(饱和压降指标相同时)短(饱和压降指标相同时)

拖尾电流短,受温度的影响大长,受温度的影响小

闩锁易出现,抗短路能力弱不易出现,抗短路能力强

雪崩击穿抗雪崩击穿能力低抗雪崩击穿能力高并联复杂,饱和压降指标需要配对容易,饱和压降指标不一定需要配对

PT与NPT生产工艺的区别如下:

·PT-IGBT芯片的生产从集电区(P+背发射区)开始,先在单 晶 硅的背面生成低掺杂的P+发射区,然后用外延工艺在单晶硅的正面依次生成N十缓冲区、MOS结构。

·NPT-IGBT芯片的生产从基区(N-漂移区)开始,先在N型单 晶 硅的正面生成MOs结构,然后用研磨减薄工艺从背面减薄到 IGBT 电压规格需要 L的厚度,再从背面用离子注入工艺生成集电区。

小结

IGBT的结构多种多样,但从纵向结构来看可归为穿通型,非穿通型。这两类IGBT的划分依据为:临界击穿电压下P base-N drift结耗尽层的扩展是否穿透了N-基区。以上本文就是对IGBT纵向结构区别的归纳与分析。

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作者:悠悠子
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来源:半导体器件原理
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