前言
前面推文，咱们有介绍了< X射线能谱微区化学分析>，可点击下方链接跳转复习一下哦~
检测试样发射的X射线谱并对试样进行微区化学成分分析的方法主要有波谱法和能谱法两种。
那么，本期推文将和大家分享一下在SEM和TEM中都常用的X射线能谱法中（EDS）点测、线扫、面扫的相关知识吧~
使用X射线能谱仪EDS进行成分分析时，一般有三种基本的工作模式，分别为：点测、线扫、面扫。根据不同的测试要求与目的，可以选择相应的分析模式。
EDS点测
在点测模式下，EDS通过在样品上选择一个微小的区域进行测量。
这种模式适用于获取单个位置上的元素组成信息。操作者可以选择感兴趣的区域进行分析，可以分析样品表面的不同位置或者材料中的不同颗粒。
点测模式可以提供单个测量点的化学成分信息，包括元素种类和相对含量。
适用情况建议：
点测最适合分析材料中的局部区域，或者需要精确确定某个特定位置的元素组成。如果你只关注一个特定位置的化学成分，比如样品表面的某个颗粒或者一个特定的区域，那么点测是最合适的选择。点测可以提供单个位置的元素组成信息，可以准确地探测局部微小区域。
EDS点测了解样品中特殊形貌颗粒的化学成分
EDS线扫
在线扫模式下，EDS通过在样品表面选择一条线进行扫描。
这种模式可以提供沿一条线的元素分布信息。通过沿着一条线的连续测量，可以得到这条线上不同位置的化学成分变化情况，包括元素种类和相对含量。
线扫模式还可以用于检测界面、分析材料的元素扩散等应用。
适用情况建议：
线扫适合于分析样品表面上的元素分布情况，或者检测材料中的界面、元素扩散等。
如果你希望了解沿着特定方向（如一条直线或一条曲线）元素的分布情况，比如材料中的界面分布、元素扩散或组分梯度等，线扫是一个更适合的选择。
EDS面扫
在面扫模式下，EDS通过在样品表面选择一个面进行扫描，获取整个区域的元素分布信息。面扫模式广泛用于材料的成分分析、相区分析和颗粒大小分布等应用。
图中每一种元素都由不同的颜色代表，它在所分析区域内的分布就非常直观。
适用情况建议：
面扫适合于全面了解大面积区域的元素分布情况。如果你关注的是整个样品表面大区域的化学成分分布，或者需要了解材料中不同区域的元素组成情况，面扫是最合适的选择。
通过面扫模式，可以提供大面积区域的元素分布信息，提供全面的观察。
比如：关注薄膜或者涂层样品每一层的元素分布情况：
焊接样品界面处元素分布：
中材新材料TEM—EDS面扫
表征取得新突破！
一起来看看吧~
0.6%界面成分聚集！！
0.06%界面成分聚集！！
综上所述，选择点测、线扫还是面扫取决于你的分析目标和材料的特性。需要根据具体的应用需求进行选择，并在实验中使用合适的模式进行测试和分析。
