IC参数漂移样品的失效分析

余笙失效分析 2022-05-07 18:00:58 434阅读 举报

在失效分析中,有种失效叫做参数漂移,这样的IC并不会表现出明显的漏电, 往往在分析过程中觉得无从下手,比如下面的Reference Voltage 的漂移失效:

1.客户上板后,发现Vref偏低,导致输出电压偏低;

2.样品烘烤以后,Vref有改善,但没有完全恢复;

3.开盖以后,Vref 恢复至正常范围附近;

Vref comparison after bake and decapsulation


仅仅做了上述的步骤以后,并不能得出明确的实效模式:

1.如何完全排除湿气的影响?

太高的温度在去除湿气的同时,又使得可动离子重新分布,同样封装应力也会重新分布,因此太高的烘烤温度不合适。于是,这里建议采用真空烘箱来去除水分,在低压下,水的沸点随之下降,这样相对较低的温度下,湿气也可以去除。

Vref did not shift after vacuum baking and ruled out the moisture effect

2.如何判别是不是可动离子的影响?

可动离子:在一定温度,一定电场下,例如Na 离子会发生移动,比如从SiO2中移动到SiO2/Si 的界面处,从而影响了器件特性;如下样品在Baking 以后Vref有恢复,但在电应力24小时以后,Vref并没有恢复至初测值,因此可以排除可动离子的影响;

Vref did not shift to origin data after electical stress and excluded MIC effect

3.如何理解客户一上板就会出现这样的失效?

为了复现失效,取同批产品做Preconditon MSL3,precondition 过程正是模拟产品包装运输到上板的过程。发现在Precondition 以后,Vref跌落严重,在开盖以后恢复至正常范围内,因此怀疑是封装应力导致的参数偏移;至于为何开以后Vref 升高到比初始值还高,我想这种差别是封装带来的,如果你去查看CP的数据和FT的数据分布,你会发现FT的数据分布相比CP变胖了。



4.那遇到参数漂移的失效品,如何一步一步分析才合理?下面分享我自己的想法。

Typical FA flow for parameter shift failure

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作者:余笙
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来源:失效分析
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有人知道这是什么嘛?
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