EDS(EDX)- Energy Dispersive X-Ray Spectrometer 能量色散谱仪

1.EDS功能：作为SEM一个配件，进行微区成分分析，定量分析，元素分布。

2.分析元素范围（Li3，Be4－Cf98）。

3.分辨率：约 0.1-0.5% weight。

首先，我们要知道什么是特征谱/连续谱。

特征X射线谱是阳极原子在高速电子作用下能级跃迁产生的；

连续谱是高速电子撞击阳极减速时产生的轫致辐射。轫致辐射的X射线谱往往是连续谱，这是由于在作为靶子的原子核电磁场作用下，带电粒子的速度是连续变化的。轫致辐射的强度与靶核电荷的平方成正比，与带电粒子质量的平方成反比。因此重的粒子产生的轫致辐射往往远远小于电子的轫致辐射。

特征谱与连续谱

EDS正是利用特征X谱线峰值的位置来确定元素种类的。

那么在进行EDS分析的时候，若要获得有效的计数，有哪些需要关注的参数呢？

SEM方面：（EDS作为SEM的一个配件，EDX的探头伸进SEM的真空腔内）

加速电压HV/EHT：通常需要有一个过压比，即加速电压必须大于特征X谱线能量，通常是2~3 倍；对于轻元素，比如F，C等，一般用5KV，而对于金属元素则需要20KV；

探针电流/束流/束斑尺寸（SpotSize / Beam Current）：让灯丝处于饱和状态以获得稳定的束流；

光阑（Aperture）：当计数比较少，则需要用大一些的光阑，这样才能获得更多的计数。

工作距离WD：通常在15mm 左右，现在一些新的机型可以根据具体情况推荐一个理想的工作距离；

2.能谱仪EDS方面

采集计数率(Acquisition Rate): 在谱图中每秒得到的X射线计数。以cps表示，即Counts per Second。计数总量Counts通常需要在250000以上。

活时间(Live Time) : 脉冲测量电路能检测X射线光子的时间，也是能谱采集X射线的有效时间。以秒表示。计数总量 ≈ 采集计数率 × 活时间。

死时间(Dead Time): 计数测量系统处理一个脉冲信号后，恢复到能处理下一个脉冲信号所需的时间。以总时间的百分数表示。

处理时间(Process Time)：处理时间长，分辨率越好。处理时间短，则死时间小，采集计数率高。谱峰如果有重叠：使用长的处理时间，有利于定性、定量。