https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.162306
通过高分辨率透射电子显微镜（HRTEM）和掠入射X射线衍射（GI-XRD）确定，热处理后Fe72Ga28薄膜发生了从A2到L12的相变；
通过几何相位分析（GPA）和电子背散（EBSD），观察到A2和L12的相界处出现了非连续的晶格畸变；
HRTEM显示相界处存在许多刃位错；
通过磁力显微镜（MFM）检测到磁畴结构从迷宫式磁畴向蜂窝式磁畴转变。磁性能的变化被确定为与A2和L12的相界之间的结构转变和不均匀的晶格畸变有关。
本文做透射电镜(TEM) 测试
测试目的如下：
观察经热处理后，薄膜各层结构、A2与L12相界面
图1 Fe72Ga28薄膜的横截面SEM图像
图2
(a) Fe72Ga28薄膜的GI-XRD图案
和(b) A2相（110）和L12相（111）的部分放大衍射峰
GI-XRD测试结果主要表明
沉积的Fe72Ga28薄膜出现（110）和（211）衍射峰，由单一无序的bcc A2相组成，Ti出现（400）衍射峰；
图3
(a) 退火的Fe72Ga28薄膜TEM明场图像；
(b) 沿[110]区轴方向得到的fcc L12相的SAED图案；
(c) 沿[111]区轴方向得到的bcc A2相的SAED图案。
(d) L12相和A2相的HRTEM图像；
(e)和(g)对应于(d)中A和B区域的IFFT；
(f)和(h)对应于(d)中A和B区域的FFT。
图4
(a) 图4(d)中区域C的IFFT图像；
(b) bcc到fcc晶格转换的示意图。
图5
A2和L12相的GPA图像。
插图说明了图4(d)中的FFT，
两个非共轭衍射点（-200）和（02-2）为g向量。
优先考虑常规制样，选择离子减薄法。
明场像（BF，必选项目）——使用透射电子束成像，观察分析试样微观形貌组成。
低指数选区电子衍射花样（SAED，必选项目）——实现晶体样品的形貌特征与晶体学信息的原位分析。
低指数高分辨像（HRTEM，必选项目）——实现物相确认、晶体方向判定、界面取向关系分析等。
衍射标定——从电子衍射或FFT确定各个物相以及对应取向关系，建议使用标定网址进行分析。
