各位请教个问题,wafer pad 上面EDX打出F元素正常吗?是否会有可靠性方面的影响?下图是成分表

抹茶味的百奇失效分析 2022-05-06 22:05:34 678阅读 上海市 有线通

各位请教个问题,wafer pad 上面EDX打出F元素正常吗?是否会有可靠性方面的影响?下图是成分表

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1条回答

  • 酷到失控
    2022-05-06 22:06:13 已采纳
    不正常,F和Al会反应,特别是在水汽作用下,影响打线。EDX结果有Ti,可能是EDX打的太深了,F可能是底部的Oxide里面的。建议重新确认。
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