请教个问题:wafer工艺有一层HDP (high density plasma) 这一层的主要什么呢,如果没有会有什么质量或者其他方面的风险么?

怎舍别离可靠性分析 2022-05-06 22:04:59 413阅读 上海市 有线通
请教个问题:wafer工艺有一层HDP (high density plasma)   这一层的主要什么呢,如果没有会有什么质量或者其他方面的风险么?

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1条回答

  • 早思丶慕想
    2022-05-06 22:05:09 已采纳

    HDP主要负责填坑的,有没有的关键是坑能不能被填好,0.35um以上都很少用到HDP的,HDP主要解决高深宽比的oxide填充。

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